Charakterizace nanostruktur deponovaných vysokofrekvenčním magnetronovým naprašováním
Characterisation of nanostructure deposited by high-frequency magnetron sputtering : zkrácená verze Ph.D. Thesis
Věcné třídění
Bibliografické údaje
- Další název
- Characterisation of nanostructure deposited by high-frequency magnetron sputtering
- Nakladatel
- Vysoké učení technické v Brně
- Vydáno
- 2009
- Místo vydání
- [V Brně
- Jazyk
- Čeština
- Ilustrace
- il.
Vydání
- Formát: Tištěná knihaBrožovaná vazba
ISBN 978-80-214-3830-9 (brož.)
Vydáno:
- Typ obsahu
- Text
- Rozsah
- 24 Strany
- Skladba produktu
- Jednosložkový maloobchodní produkt
- Stav vydání
- Neurčeno
Obsahy
Doporučení
Obsahuje bibliografii
Významná vlastnost
V publikaci uvedeno: [V Brně : Vysoké učení technické]
Významná vlastnost
Zkrácená verze disertace (Ph.D.)--Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, Ústav mikroelektroniky, 2008
Významná vlastnost
Obor: Mikroelektronika a technologie